半导体专用温控设备（Chiller）主要用于半导体制造过程中准确控制反应室的温度。半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可缺的关键设备。

半导体专用温控设备（Chiller）依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。

循环风控温装置

温度控制范围：-105℃ 至+125℃

运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源；独⽴的制冷循环⻛机组；

可连续⻓时间⼯作，⾃动除霜，除霜过程不影响库温；模块化设计，备⽤机替换容易（只要⼀台备⽤机组即可）；

解决频繁开关⻔，蒸发系统结霜问题；蒸发系统除霜过程不影响。

构筑⼀套⾼低温恒温室变的简单（根据提供的图纸，像搭积⽊⼀般拼接好箱体，连接好电和⽔，设定好温度即可⼯作）