浅沟道隔离槽刻蚀单通道chiller

快速温变控温卡盘

该产品可以实现快速温度变化，准确控制温度。系统本⾝⾃带制冷机，避免了液氮、⼆氧化碳等的消耗，每个系统均包含了卡盘和冷热控制单元。

系统提供开放的表⾯平整⼯作平台，快速升降温、恒温控制，运⽤于RF器件和⾼密度功率器件测试，也可以运⽤于实验室平板快速冷却（⽣物制品、电池）等平板内部采⽤制冷剂直接蒸发⽅式，相对液冷⽅式⼤幅度提⾼了换热效率，提⾼单位⾯积平板的换热功率。