半导体行业控温系统-CDU冷却控温单元产品介绍：

半导体行业控温系统-CDU冷却控温单元适用于半导体测试，电子设备恒温测试，冷却服务器配套基础设施，及其他流体控温场所。是具备独立的换热系统、供电系统和监控系统的模块化智能设备。

　　半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制，产品有流体氟化液控温、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机、直冷型制冷机组等。冠亚制冷公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

　　1、chiller系列：

　　chiller系列分为7℃~40℃、-25℃~40℃、-45℃~40℃、30℃~90℃ 变频 双路、-80℃~80℃ -100℃~80℃ 复叠制冷、换热控温（无压缩机）（20℃~90℃）等，chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行管理监控记录。

　　2、Chiller 气体降温（-40℃、-80℃、-100℃）：

　　Chiller 气体降温控温系列将气体（无腐蚀）降温使用：如干燥压缩空气、氮气、氩气等常温气体通入到LQ系列设备内部，出来的气体即可达到目标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。